納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
 

　　下面讓我們一起來了解一下微納米壓痕儀的主要功能吧：
 

　　1.連續(xù)剛度測量(CSM)
 

　　CSM技術(shù)包括在壓痕過程中測量力學(xué)性能隨深度、力、時間或頻率變化的函數(shù)。該方案采用恒定應(yīng)變速率試驗，測量硬度和模量作為深度或載荷的函數(shù)，是學(xué)術(shù)界和工業(yè)界常用的試驗方法。CSM還用于其他高級測試，包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA™方法和AccuFilm™基底立測量。CSM集成在控制器和InView軟件中，以保證數(shù)據(jù)質(zhì)量。
 

　　2.NanoBlitz3D
 

　　NanoBlitz 3D利用Inforce 50加載器采用玻氏壓頭測量高E(>3Gpa)材料的三維測量圖。NanoBlitz壓痕小于1個點/ s，可達10萬個壓痕(300x300陣列)，并提供每個壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度，大量的測試提高了統(tǒng)計的準確性。NanoBlitz 3D還提供可視化軟件和數(shù)據(jù)處理功能。
 

　　3.AccuFilm™薄膜方法包
 

　　AccuFilm™薄膜方法包是一種基于Hay-Crawford模型的全新測試方法，使用連續(xù)剛度測量(CSM)測量基底材料的立特性。AccuFilm™修正了基底對軟基板上硬薄膜以及硬基底上軟薄膜測量的影響。
 

　　4.ProbeDMA™聚合物方法包
 

　　聚合物包可以測量聚合物的模量對頻率的函數(shù)。該測試包括平?jīng)_頭、粘彈性參考材料和評價粘彈性性能的試驗方法。這種測量技術(shù)是表征納米聚合物和聚合物薄膜的關(guān)鍵技術(shù)，而傳統(tǒng)的DMA測試儀器無法很好地測試這些薄膜。
 

　　5.劃痕磨損試驗功能
 

　　劃痕試驗在以規(guī)定速度穿過樣品表面時，向壓頭施加恒定或傾斜載荷。劃痕試驗可以表征許多材料系統(tǒng)，如薄膜、易碎陶瓷和聚合物。
 

　　6.DataBurst
 

　　DataBurst集成InView軟件和InQuest控制器系統(tǒng)，采用大于1kHz的速率記錄位移數(shù)據(jù)，以測量高應(yīng)變跳躍載荷的突變實驗。特別適用于瞬間斷裂、壓爆瞬間采集大量數(shù)據(jù)的測試實驗。
 

　　7.Gemini 2D多軸傳感器
 

　　Gemini 2D 多軸技術(shù)將相同的標(biāo)準壓痕功能帶到第二個橫軸上，同時沿兩個方向軸運行。該專用技術(shù)有助于深入了解材料特性和失效機制，可以測量泊松比、摩擦系數(shù)、劃痕、磨損、剪切等參數(shù)。